真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880012612.5

申请日：

2008-03-11

公开(公告)号：

CN101689468A

公开(公告)日：

2010-03-31

发明(设计)人：

J·维特

申请人：

申请人地址：

德国贝吉施-格拉德巴赫

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

肖日松;刘华联

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101731810135 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2008800126125 申请公布日:20100331
2010-03-31	公开	公开
2010-05-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001745838 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2008800126125 申请日:20080311

共 50 条

[1]

真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室 [P].

J.维特 .

中国专利 :CN105632859A ,2016-06-01

[2]

电弧蒸发源 [P].

冈崎尚登 ;

吉原健 ;

石塚浩 ;

松野知保 ;

楢原真司 .

中国专利 :CN105164305A ,2015-12-16

[3]

电弧蒸发源 [P].

黑川好德 ;

广田悟史 ;

谷藤信一 .

中国专利 :CN106460159B ,2017-02-22

[4]

电弧蒸发源 [P].

高桥哲也 ;

藤田润树 ;

久次米进 ;

山本兼司 .

日本专利 :CN117987784A ,2024-05-07

[5]

电弧蒸发源及真空蒸镀装置 [P].

小泉康浩 ;

能势功一 .

中国专利 :CN101448969A ,2009-06-03

[6]

电弧式蒸发源 [P].

辻胜启 ;

西村和也 .

中国专利 :CN101636519B ,2010-01-27

[7]

脉冲磁场电弧蒸发源 [P].

李飞 ;

李兰民 .

中国专利 :CN203668500U ,2014-06-25

[8]

用于电弧蒸发装置的阴极弧蒸发源以及电弧蒸发装置 [P].

温振伟 ;

沈学忠 ;

朱国朝 ;

李庆超 ;

贺林青 ;

朗清凯 .

中国专利 :CN114411101A ,2022-04-29

[9]

双磁场复推型真空电弧蒸发源 [P].

陈大民 ;

王洪权 ;

候玉萍 .

中国专利 :CN203613258U ,2014-05-28

[10]

真空电弧蒸发源及使用它的薄膜形成装置 [P].

村上浩 .

中国专利 :CN1332266A ,2002-01-23

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