电弧蒸发源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380076080.2

申请日：

2013-04-30

公开(公告)号：

CN105164305A

公开(公告)日：

2015-12-16

发明(设计)人：

冈崎尚登吉原健石塚浩松野知保楢原真司

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市南区久世殿城町575番地

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

陶敏;臧建明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	公开	公开
2016-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101642488735 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013800760802 申请日:20130430
2017-05-17	授权	授权

共 50 条

[1]

电弧蒸发源 [P].

黑川好德 ;

广田悟史 ;

谷藤信一 .

中国专利 :CN106460159B ,2017-02-22

[2]

真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室 [P].

J·维特 .

中国专利 :CN101689468A ,2010-03-31

[3]

真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室 [P].

J.维特 .

中国专利 :CN105632859A ,2016-06-01

[4]

电弧蒸发源 [P].

高桥哲也 ;

藤田润树 ;

久次米进 ;

山本兼司 .

日本专利 :CN117987784A ,2024-05-07

[5]

电弧式蒸发源 [P].

辻胜启 ;

西村和也 .

中国专利 :CN101636519B ,2010-01-27

[6]

脉冲磁场电弧蒸发源 [P].

李飞 ;

李兰民 .

中国专利 :CN203668500U ,2014-06-25

[7]

一种电弧蒸发源 [P].

宋永宾 .

中国专利 :CN204874720U ,2015-12-16

[8]

电弧蒸发源及真空蒸镀装置 [P].

小泉康浩 ;

能势功一 .

中国专利 :CN101448969A ,2009-06-03

[9]

用于电弧蒸发装置的阴极弧蒸发源以及电弧蒸发装置 [P].

温振伟 ;

沈学忠 ;

朱国朝 ;

李庆超 ;

贺林青 ;

朗清凯 .

中国专利 :CN114411101A ,2022-04-29

[10]

有明确电场的电弧蒸发源 [P].

S.克拉斯尼策尔 ;

J.哈格曼 .

中国专利 :CN102947478B ,2013-02-27

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