一种电弧蒸发源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520499219.0

申请日：

2015-07-10

公开(公告)号：

CN204874720U

公开(公告)日：

2015-12-16

发明(设计)人：

宋永宾

申请人：

申请人地址：

266000 山东省青岛市四方区嘉定路17号439室

IPC主分类号：

C23C1432

IPC分类号：

代理机构：

四川君士达律师事务所 51216

代理人：

芶忠义

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	授权	授权
2019-01-04	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23C 14/32 登记号:2018370010134 登记生效日:20181211 出质人:青岛优百宇真空设备股份有限公司质权人:青岛高创科技融资担保有限公司实用新型名称:一种电弧蒸发源申请日:20150710 授权公告日:20151216
2020-03-03	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):C23C 14/32 授权公告日:20151216 申请日:20150710 登记号:2018370010134 出质人:青岛优百宇真空设备股份有限公司质权人:青岛高创科技融资担保有限公司解除日:20200206

共 50 条

[1]

电弧蒸发源 [P].

高桥哲也 ;

藤田润树 ;

久次米进 ;

山本兼司 .

日本专利 :CN117987784A ,2024-05-07

[2]

电弧蒸发源 [P].

冈崎尚登 ;

吉原健 ;

石塚浩 ;

松野知保 ;

楢原真司 .

中国专利 :CN105164305A ,2015-12-16

[3]

电弧蒸发源 [P].

黑川好德 ;

广田悟史 ;

谷藤信一 .

中国专利 :CN106460159B ,2017-02-22

[4]

脉冲磁场电弧蒸发源 [P].

李飞 ;

李兰民 .

中国专利 :CN203668500U ,2014-06-25

[5]

真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室 [P].

J·维特 .

中国专利 :CN101689468A ,2010-03-31

[6]

真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室 [P].

J.维特 .

中国专利 :CN105632859A ,2016-06-01

[7]

一种新型柱状磁控阴极电弧蒸发源 [P].

马志坚 .

中国专利 :CN2196122Y ,1995-05-03

[8]

有明确电场的电弧蒸发源 [P].

S.克拉斯尼策尔 ;

J.哈格曼 .

中国专利 :CN102947478B ,2013-02-27

[9]

大面积可控电弧蒸发源 [P].

袁哲 ;

张树林 ;

王振全 ;

高仰之 .

中国专利 :CN2205832Y ,1995-08-23

[10]

一种阴极电弧蒸发源靶座 [P].

闫少健 ;

韩滨 ;

付德春 .

中国专利 :CN105369203A ,2016-03-02

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