自动替换坩锅的蒸发源及具有该蒸发源的蒸发沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980066135.9

申请日：

2019-10-21

公开(公告)号：

CN112823219A

公开(公告)日：

2021-05-18

发明(设计)人：

金英年

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1426

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-18	公开	公开
2021-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20191021

共 50 条

[1]

蒸发源和具有该蒸发源的沉积设备 [P].

崔丞镐 ;

郑石源 ;

明承镐 ;

卢喆来 .

中国专利 :CN102102176B ,2011-06-22

[2]

蒸发源、用于操作蒸发源的方法和沉积系统 [P].

斯蒂芬·班格特 .

中国专利 :CN112074623A ,2020-12-11

[3]

用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

伊夫林·舍尔 ;

斯特凡·凯勒 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

佩曼·哈梅格 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11

[4]

线性蒸发源及具有该线性蒸发源的沉积设备 [P].

徐敏逵 ;

韩尚辰 ;

卢喆来 ;

安宰弘 .

中国专利 :CN102102175A ,2011-06-22

[5]

蒸发源裂解管、蒸发源装置以及沉积装置 [P].

李博研 ;

韩钰 ;

林舒平 ;

刘晓宇 ;

钟大龙 ;

赵明 .

中国专利 :CN118621268A ,2024-09-10

[6]

蒸发源、包括其的沉积系统及利用其的蒸发源更换方法 [P].

金首宦 ;

姜显旭 ;

崔明云 .

韩国专利 :CN120719254A ,2025-09-30

[7]

用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法 [P].

S·邦格特 ;

U·舒斯勒 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN105917019A ,2016-08-31

[8]

具备多个蒸发源的薄膜沉积装置 [P].

金明洙 ;

金政泽 ;

金钟真 ;

李荣钟 .

中国专利 :CN106560008A ,2017-04-05

[9]

蒸发源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 .

中国专利 :CN110093586B ,2019-08-06

[10]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

菅原由季 .

日本专利 :CN110656309B ,2024-03-15

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