蒸发源及蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910492249.1

申请日：

2019-06-06

公开(公告)号：

CN110093586B

公开(公告)日：

2019-08-06

发明(设计)人：

刘金彪

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

C23C1454 H01L5156

代理机构：

北京风雅颂专利代理有限公司 11403

代理人：

于小凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	授权	授权
2019-08-06	公开	公开
2019-08-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20190606

共 50 条

[1]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

菅原由季 .

日本专利 :CN110656309B ,2024-03-15

[2]

一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法 [P].

胡海兵 .

中国专利 :CN104762601A ,2015-07-08

[3]

一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法 [P].

胡海兵 ;

田川 .

中国专利 :CN105112856A ,2015-12-02

[4]

加热装置、蒸发源及蒸镀装置 [P].

菅原由季 .

中国专利 :CN110656309A ,2020-01-07

[5]

线性蒸发源及连续式蒸镀设备 [P].

杨世航 ;

刘壮 ;

张撷秋 ;

崔骏 ;

李霖 .

中国专利 :CN108048801A ,2018-05-18

[6]

线性蒸发源及连续式蒸镀设备 [P].

杨世航 ;

刘壮 ;

张撷秋 ;

崔骏 ;

李霖 .

中国专利 :CN207727135U ,2018-08-14

[7]

一种线形蒸发源及蒸镀设备 [P].

金薰 ;

李浩永 ;

卢正权 ;

金甲锡 .

中国专利 :CN105296934B ,2016-02-03

[8]

坩埚盖、坩埚盖组件、蒸发源、蒸镀方法 [P].

宫诚致 ;

许如意 ;

薛建成 ;

关立伟 .

中国专利 :CN108359941B ,2018-08-03

[9]

一种用于OLED蒸镀的蒸发源装置 [P].

郑子明 ;

赵军 ;

吕海超 ;

彭勃 .

中国专利 :CN107815647A ,2018-03-20

[10]

蒸镀方法及蒸镀装置 [P].

陈俊安 ;

段继贤 .

中国专利 :CN100476016C ,2004-06-16

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