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一种用于OLED蒸镀的蒸发源装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710860389.0
申请日：
2017-09-21
公开(公告)号：
CN107815647A
公开(公告)日：
2018-03-20
发明(设计)人：
郑子明
赵军
吕海超
彭勃
申请人：
申请人地址：
201506 上海市金山区金山工业区夏宁路666弄61号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210
代理人：
南小平
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-03-20 | 公开 | 公开 |
| 2020-01-17 | 授权 | 授权 |
| 2018-04-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20170921 |