一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410998896.0

申请日：

2024-07-24

公开(公告)号：

CN118910554A

公开(公告)日：

2024-11-08

发明(设计)人：

李端科李再兴张利王剑刚

申请人：

中能兴盛（香河）机电设备有限公司

申请人地址：

065402 河北省廊坊市香河县经济开发区运河大道东侧二号路北侧

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/14 H10K71/16

代理机构：

天津市鼎拓知识产权代理有限公司 12233

代理人：

孙键

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	公开	公开
2025-03-21	著录事项变更	著录事项变更IPC(主分类):C23C 14/24变更事项:申请人变更前:中能兴盛（香河）机电设备有限公司变更后:中能兴盛（香河）半导体精密制造有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:河北省廊坊市香河县经济开发区运河大道东侧二号路北侧变更后:065400 河北省廊坊市香河县开发区香明路2号
2024-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/24申请日:20240724

共 50 条

[1]

一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置 [P].

王路 .

中国专利 :CN104073764A ,2014-10-01

[2]

一种用于OLED蒸镀的蒸发源装置 [P].

郑子明 ;

赵军 ;

吕海超 ;

彭勃 .

中国专利 :CN107815647A ,2018-03-20

[3]

OLED蒸镀机的蒸发源装置 [P].

高昕伟 ;

雷霖 .

中国专利 :CN101942641A ,2011-01-12

[4]

OLED蒸镀机的蒸发源装置 [P].

高昕伟 ;

雷霖 .

中国专利 :CN201778103U ,2011-03-30

[5]

一种用于OLED蒸镀的蒸发源结构 [P].

李文浩 .

中国专利 :CN115341179A ,2022-11-15

[6]

OLED蒸镀机的蒸发源组件 [P].

邹清华 .

中国专利 :CN103741096B ,2014-04-23

[7]

一种OLED蒸镀机点蒸发源坩埚组件 [P].

王治学 ;

杨木森 ;

李星 .

中国专利 :CN221701621U ,2024-09-13

[8]

蒸发源及真空蒸镀系统 [P].

邹清华 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN110777334B ,2020-02-11

[9]

用于OLED蒸镀的金属遮罩及OLED蒸镀方法 [P].

李文辉 .

中国专利 :CN107636191A ,2018-01-26

[10]

一种Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构 [P].

吕磊 ;

刘胜芳 ;

赵铮涛 ;

李维维 ;

许嵩 ;

李雪原 .

中国专利 :CN214991802U ,2021-12-03

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