蒸镀方法及蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02153042.4

申请日：

2002-11-29

公开(公告)号：

CN100476016C

公开(公告)日：

2004-06-16

发明(设计)人：

陈俊安段继贤

申请人：

申请人地址：

中国台湾

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

沙捷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-04-08	授权	授权
2014-01-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101565522175 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL021530424 申请日:20021129 授权公告日:20090408 终止日期:20121129
2004-06-16	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339A ,2022-04-05

[2]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339B ,2024-07-16

[3]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

任晓光 .

中国专利 :CN107267921A ,2017-10-20

[4]

一种蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李灿 ;

池珉昊 ;

李承皇 ;

曹景博 .

中国专利 :CN114369792A ,2022-04-19

[5]

蒸镀设备与蒸镀方法 [P].

陈建志 ;

董福庆 ;

赖丽惠 ;

陈思豪 ;

王怡珊 .

中国专利 :CN104060226A ,2014-09-24

[6]

蒸镀源和蒸镀装置 [P].

刘浩 ;

李彦松 ;

白珊珊 ;

关新兴 ;

曾琪皓 ;

沈阔 ;

刘华猛 ;

刘佳宁 .

中国专利 :CN116005114B ,2024-07-23

[7]

蒸镀装置以及蒸镀设备 [P].

夏禹 ;

张正川 ;

王鹏 ;

王淼 .

中国专利 :CN109440068A ,2019-03-08

[8]

蒸镀装置 [P].

陈俊安 ;

段继贤 .

中国专利 :CN2592655Y ,2003-12-17

[9]

蒸镀装置 [P].

张冲 .

中国专利 :CN208667830U ,2019-03-29

[10]

蒸镀装置 [P].

水谷和挥 ;

片山幸祐 .

中国专利 :CN107849685A ,2018-03-27

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