蒸镀设备与蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310359451.X

申请日：

2013-08-16

公开(公告)号：

CN104060226A

公开(公告)日：

2014-09-24

发明(设计)人：

陈建志董福庆赖丽惠陈思豪王怡珊

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹县

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

曹玲柱

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101744749162 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:201310359451X 申请公布日:20140924
2014-09-24	公开	公开
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587750177 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:201310359451X 申请日:20130816

共 50 条

[1]

蒸镀设备与利用此设备的蒸镀方法 [P].

黄智勇 ;

林士钦 ;

王庆钧 .

中国专利 :CN108004507A ,2018-05-08

[2]

蒸镀坩埚和蒸镀设备 [P].

李朝 .

中国专利 :CN108048800A ,2018-05-18

[3]

蒸镀装置以及蒸镀设备 [P].

夏禹 ;

张正川 ;

王鹏 ;

王淼 .

中国专利 :CN109440068A ,2019-03-08

[4]

真空蒸镀设备及真空蒸镀方法 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN104451554A ,2015-03-25

[5]

蒸镀方法及蒸镀装置 [P].

陈俊安 ;

段继贤 .

中国专利 :CN100476016C ,2004-06-16

[6]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339A ,2022-04-05

[7]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339B ,2024-07-16

[8]

面型蒸镀源及其蒸镀方法与系统 [P].

陈建志 ;

王庆钧 ;

吴庆辉 ;

董福庆 .

中国专利 :CN102477538A ,2012-05-30

[9]

蒸镀设备 [P].

高纪凡 ;

徐锐 ;

张学玲 ;

朱俊 ;

冯志强 .

中国专利 :CN220432951U ,2024-02-02

[10]

薄膜蒸镀设备及薄膜蒸镀系统 [P].

山佳卫 ;

庄渊博 ;

山佳逸峡 .

中国专利 :CN204237860U ,2015-04-01

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