一种线形蒸发源及蒸镀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510761075.6

申请日：

2015-11-09

公开(公告)号：

CN105296934B

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

金薰李浩永卢正权金甲锡

申请人：

申请人地址：

230013 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

黄志华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101649079131 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2015107610756 申请日:20151109
2016-02-03	公开	公开
2018-06-19	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

肖昂 ;

饶勇 ;

罗垒垒 ;

兰代江 ;

刘飞 ;

加新星 .

中国专利 :CN110144550B ,2019-08-20

[2]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN207525325U ,2018-06-22

[3]

一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法 [P].

胡海兵 .

中国专利 :CN104762601A ,2015-07-08

[4]

一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法 [P].

胡海兵 ;

田川 .

中国专利 :CN105112856A ,2015-12-02

[5]

一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统及蒸镀设备 [P].

裴凤巍 ;

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN208328091U ,2019-01-04

[6]

蒸发源喷嘴、蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘华猛 ;

文官印 ;

李彦松 ;

王蓓 ;

王宇钊 .

中国专利 :CN118256879A ,2024-06-28

[7]

一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机 [P].

张虎 ;

张志强 ;

关立伟 ;

白玉庭 ;

薛建成 ;

牛玉山 .

中国专利 :CN113373413B ,2021-09-10

[8]

蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘全宝 ;

毋炳辉 ;

金跃康 ;

王传俊 ;

高松 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN115011931A ,2022-09-06

[9]

坩埚、蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵德江 ;

袁广才 .

中国专利 :CN206916210U ,2018-01-23

[10]

坩埚、蒸发源及蒸镀设备 [P].

王选生 ;

贾俊兰 .

中国专利 :CN110195210B ,2019-09-03

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