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高频感应蒸发源装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201611233960.8
申请日：
2016-12-28
公开(公告)号：
CN106835029A
公开(公告)日：
2017-06-13
发明(设计)人：
沐俊应
申请人：
申请人地址：
430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
IPC主分类号：
C23C1426
IPC分类号：
代理机构：
深圳市德力知识产权代理事务所 44265
代理人：
林才桂
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-07-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101731776136 IPC(主分类):C23C 14/26 专利申请号:2016112339608 申请日:20161228 |
| 2022-01-28 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/26 申请公布日:20170613 |
| 2017-06-13 | 公开 | 公开 |