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一种近距离双电子束蒸发源结构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411050629.7
申请日：
2024-08-01
公开(公告)号：
CN118957505A
公开(公告)日：
2024-11-15
发明(设计)人：
杜宝胜
薛蒙晓
张银丹
申请人：
苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区阳浦路78号6号厂房
IPC主分类号：
C23C14/30
IPC分类号：
代理机构：
苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269
代理人：
任骁东
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-15 | 公开 | 公开 |
| 2024-12-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/30申请日:20240801 |