基板载放台、基板处理装置以及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610065330.4

申请日：

2006-03-17

公开(公告)号：

CN1835205A

公开(公告)日：

2006-09-20

发明(设计)人：

大桥薰速水利泰

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L213065 H01L2100 C23F400 H05H146 H01J3732

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-11-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-04-16	授权	授权
2006-09-20	公开	公开

共 50 条

[1]

基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

町山弥 ;

南雅人 .

中国专利 :CN111146134A ,2020-05-12

[2]

基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

町山弥 ;

南雅人 .

日本专利 :CN111146134B ,2024-04-16

[3]

基板载置台以及基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN101276777A ,2008-10-01

[4]

基板载置台以及基板处理装置 [P].

潮田穣一 .

中国专利 :CN101378031A ,2009-03-04

[5]

基板处理装置以及基板载置台 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN101374973B ,2009-02-25

[6]

基板载置台以及基板处理装置 [P].

南雅人 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN101261952B ,2008-09-10

[7]

基板载置台、基板处理装置以及基板载置台的制造方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

佐佐木和男 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN120719270A ,2025-09-30

[8]

基板载置台及基板处理装置 [P].

津田荣之辅 ;

鸟屋大辅 ;

米仓总史 ;

武田聪 ;

福留誉司 ;

池田恭子 .

中国专利 :CN113451198A ,2021-09-28

[9]

基板载置台及基板处理装置 [P].

津田荣之辅 ;

鸟屋大辅 ;

米仓总史 ;

武田聪 ;

福留誉司 ;

池田恭子 .

日本专利 :CN113451198B ,2024-04-05

[10]

基板处理装置、基板载置机构和基板处理方法 [P].

津田荣之辅 ;

村上诚志 ;

釜石贵之 .

中国专利 :CN109148326A ,2019-01-04

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