基板载置台以及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810080550.3

申请日：

2008-02-22

公开(公告)号：

CN101261952B

公开(公告)日：

2008-09-10

发明(设计)人：

南雅人佐佐木芳彦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167 H01L2100 C23F400 C23C16458 C23C1450 C30B2512 H01J3732

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-09-10	公开	公开
2011-08-31	授权	授权
2010-02-10	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板载置台以及基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN101276777A ,2008-10-01

[2]

基板载置台以及基板处理装置 [P].

潮田穣一 .

中国专利 :CN101378031A ,2009-03-04

[3]

基板处理装置以及基板载置台 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN101374973B ,2009-02-25

[4]

基板载置台、基板处理装置以及基板载置台的制造方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

佐佐木和男 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN120719270A ,2025-09-30

[5]

基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

町山弥 ;

南雅人 .

中国专利 :CN111146134A ,2020-05-12

[6]

基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

町山弥 ;

南雅人 .

日本专利 :CN111146134B ,2024-04-16

[7]

基板处理装置和基板载置台 [P].

山下润 .

中国专利 :CN102160166A ,2011-08-17

[8]

基板载置台和基板处理装置 [P].

天野健次 ;

田中善嗣 .

中国专利 :CN101047143A ,2007-10-03

[9]

基板载置台和基板处理装置 [P].

天野健次 ;

田中善嗣 .

中国专利 :CN101707186B ,2010-05-12

[10]

基板处理装置的基板载置台 [P].

佐藤彻治 ;

北泽贵 ;

吉村章弘 .

中国专利 :CN102110632A ,2011-06-29

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