基板载置台和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910253446.4

申请日：

2007-03-23

公开(公告)号：

CN101707186B

公开(公告)日：

2010-05-12

发明(设计)人：

天野健次田中善嗣

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-06-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101003503352 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2009102534464 申请日:20070323
2010-05-12	公开	公开
2012-02-29	授权	授权

共 50 条

[1]

基板处理装置和基板载置台 [P].

山下润 .

中国专利 :CN102160166A ,2011-08-17

[2]

基板载置台和基板处理装置 [P].

天野健次 ;

田中善嗣 .

中国专利 :CN101047143A ,2007-10-03

[3]

基板升降机构、基板载置台和基板处理装置 [P].

伊藤毅 .

中国专利 :CN107546171A ,2018-01-05

[4]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN107086200A ,2017-08-22

[5]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN107026102B ,2017-08-08

[6]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 ;

齐藤英树 ;

神户乔史 .

中国专利 :CN110581087A ,2019-12-17

[7]

基板载置台和基板处理装置 [P].

古屋敦城 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN103824800A ,2014-05-28

[8]

基板载置台 [P].

佐藤耕一 ;

山崎英亮 ;

中込素子 ;

冈纯也 .

中国专利 :CN109817562A ,2019-05-28

[9]

基板处理装置的基板载置台 [P].

佐藤彻治 ;

北泽贵 ;

吉村章弘 .

中国专利 :CN102110632A ,2011-06-29

[10]

基板处理装置的基板载置台 [P].

佐藤彻治 ;

北泽贵 ;

吉村章弘 .

中国专利 :CN105355585B ,2016-02-24

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