基板载置台和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910488033.8

申请日：

2019-06-05

公开(公告)号：

CN110581087A

公开(公告)日：

2019-12-17

发明(设计)人：

佐佐木芳彦南雅人齐藤英树神户乔史

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21673

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190605
2019-12-17	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置和基板载置台 [P].

山下润 .

中国专利 :CN102160166A ,2011-08-17

[2]

基板载置台和基板处理装置 [P].

天野健次 ;

田中善嗣 .

中国专利 :CN101707186B ,2010-05-12

[3]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN107086200A ,2017-08-22

[4]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN107026102B ,2017-08-08

[5]

基板载置台和基板处理装置 [P].

天野健次 ;

田中善嗣 .

中国专利 :CN101047143A ,2007-10-03

[6]

基板载置台和基板处理装置 [P].

古屋敦城 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN103824800A ,2014-05-28

[7]

基板处理装置以及基板载置台 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN101374973B ,2009-02-25

[8]

基板载置台、基板处理装置和基板载置台的制造方法 [P].

林圣 ;

里吉务 .

中国专利 :CN100411133C ,2006-12-20

[9]

基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

町山弥 ;

南雅人 .

中国专利 :CN111146134A ,2020-05-12

[10]

基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

町山弥 ;

南雅人 .

日本专利 :CN111146134B ,2024-04-16

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