共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板处理装置的基板载置台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010582558.7
申请日：
2010-11-17
公开(公告)号：
CN102110632A
公开(公告)日：
2011-06-29
发明(设计)人：
佐藤彻治
北泽贵
吉村章弘
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2100
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-06-29 | 公开 | 公开 |
| 2016-05-04 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101731938821 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2010105825587 申请公布日:20110629 |
| 2011-08-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096116994 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2010105825587 申请日:20101117 |