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基板载置台及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411607236.1
申请日：
2019-12-19
公开(公告)号：
CN119480758A
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
多贺敏
佐藤直行
西田辰夫
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01J37/32
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
徐殿军
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20191219 |
| 2025-02-18 | 公开 | 公开 |