基板载置台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811399185.2

申请日：

2018-11-22

公开(公告)号：

CN109817562A

公开(公告)日：

2019-05-28

发明(设计)人：

佐藤耕一山崎英亮中込素子冈纯也

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167 H01L213065

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-28	公开	公开
2019-06-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20181122

共 50 条

[1]

基板处理装置和基板载置台 [P].

山下润 .

中国专利 :CN102160166A ,2011-08-17

[2]

基板载置台和基板处理装置 [P].

天野健次 ;

田中善嗣 .

中国专利 :CN101707186B ,2010-05-12

[3]

基板升降机构、基板载置台和基板处理装置 [P].

伊藤毅 .

中国专利 :CN107546171A ,2018-01-05

[4]

基板载置台和基板处理装置 [P].

天野健次 ;

田中善嗣 .

中国专利 :CN101047143A ,2007-10-03

[5]

基板处理装置的基板载置台 [P].

佐藤彻治 ;

北泽贵 ;

吉村章弘 .

中国专利 :CN102110632A ,2011-06-29

[6]

基板处理装置的基板载置台 [P].

佐藤彻治 ;

北泽贵 ;

吉村章弘 .

中国专利 :CN105355585B ,2016-02-24

[7]

基板载置台 [P].

田中厚士 ;

小川涼平 .

中国专利 :CN107078092A ,2017-08-18

[8]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN107086200A ,2017-08-22

[9]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN107026102B ,2017-08-08

[10]

基板处理装置以及基板载置台 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN101374973B ,2009-02-25

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