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一种连续真空镀膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010358393.9
申请日：
2020-04-29
公开(公告)号：
CN111411327A
公开(公告)日：
2020-07-14
发明(设计)人：
胡均松
申请人：
申请人地址：
435400 湖北省黄冈市武穴市梅川镇鲁全二村三组17号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1450
C23C1456
代理机构：
北京艾皮专利代理有限公司 11777
代理人：
郭童瑜
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20200429 |
| 2020-07-14 | 公开 | 公开 |
| 2022-11-15 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20200714 |