反应腔室和晶圆处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920385691.X

申请日：

2019-03-25

公开(公告)号：

CN209496827U

公开(公告)日：

2019-10-15

发明(设计)人：

沈祥薛荣华阚保国刘家桦

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆处理装置和多腔室晶圆处理设备 [P].

王大为 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208753276U ,2019-04-16

[2]

多腔室晶圆处理设备 [P].

张大龙 ;

栾剑锋 ;

阚保国 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207503937U ,2018-06-15

[3]

晶圆处理装置和多腔室晶圆处理设备 [P].

王大为 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208954947U ,2019-06-07

[4]

多腔室晶圆处理设备 [P].

张大龙 ;

栾剑锋 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207338328U ,2018-05-08

[5]

多腔室晶圆处理设备 [P].

周亚勇 ;

盖晨光 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208674075U ,2019-03-29

[6]

晶圆处理腔、晶圆处理装置和晶圆处理设备 [P].

王晖 ;

顾建国 ;

田连刚 ;

朱志君 ;

金京俊 ;

陈国强 ;

贺斌 .

中国专利 :CN120727549A ,2025-09-30

[7]

多腔室堆栈式晶圆处理设备 [P].

赵宏宇 ;

王锐廷 ;

张豹 .

中国专利 :CN204303792U ,2015-04-29

[8]

多腔室堆栈式晶圆处理设备及晶圆处理方法 [P].

赵宏宇 ;

王锐廷 ;

张豹 .

中国专利 :CN104617025A ,2015-05-13

[9]

晶圆处理设备（多腔室堆栈式） [P].

赵宏宇 ;

孙文婷 ;

张豹 ;

王锐廷 ;

初国超 .

中国专利 :CN303151539S ,2015-04-01

[10]

晶圆热处理腔室 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208706598U ,2019-04-05

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