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一种半导体材料加工用除尘装置
被引：0
申请号：
CN202122307501.2
申请日：
2021-09-23
公开(公告)号：
CN216170732U
公开(公告)日：
2022-04-05
发明(设计)人：
张振飞
申请人：
申请人地址：
201100 上海市闵行区七莘路889号2幢
IPC主分类号：
B01D4604
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-05 | 授权 | 授权 |