晶圆转移装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220610660.8

申请日：

2012-11-16

公开(公告)号：

CN202917461U

公开(公告)日：

2013-05-01

发明(设计)人：

黄永莲高娜刘传军

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-01	授权	授权
2019-11-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20121116 授权公告日:20130501 终止日期:20181116

共 50 条

[1]

晶圆转移装置 [P].

贺云波 ;

王波 ;

刘青山 ;

刘凤玲 ;

陈桪 .

中国专利 :CN209571395U ,2019-11-01

[2]

晶圆转移装置 [P].

王二伟 .

中国专利 :CN211320066U ,2020-08-21

[3]

晶圆转移装置 [P].

黄斌 ;

赵开乾 .

中国专利 :CN209993585U ,2020-01-24

[4]

晶圆转移装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN204271049U ,2015-04-15

[5]

晶圆转移装置 [P].

陈广辉 .

中国专利 :CN215266251U ,2021-12-21

[6]

晶圆转移装置 [P].

王振荣 ;

黄春杰 ;

黄利松 .

中国专利 :CN206584905U ,2017-10-24

[7]

晶圆转移装置与晶圆转移方法 [P].

贺云波 ;

王波 ;

刘青山 ;

刘凤玲 ;

陈桪 .

中国专利 :CN109994411B ,2024-05-24

[8]

晶圆转移装置与晶圆转移方法 [P].

贺云波 ;

王波 ;

刘青山 ;

刘凤玲 ;

陈桪 .

中国专利 :CN109994411A ,2019-07-09

[9]

新型晶圆转移装置 [P].

王振荣 ;

黄春杰 ;

黄利松 .

中国专利 :CN206363993U ,2017-07-28

[10]

晶圆转移装置 [P].

黄中山 ;

金補哲 ;

朴绍延 ;

郑真焕 .

中国专利 :CN115360131A ,2022-11-18

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