晶圆转移装置与晶圆转移方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910294298.4

申请日：

2019-04-12

公开(公告)号：

CN109994411A

公开(公告)日：

2019-07-09

发明(设计)人：

贺云波王波刘青山刘凤玲陈桪

申请人：

申请人地址：

528251 广东省佛山市南海区狮山镇南海软件科技园内佛高科技智库中心A座科研楼A605-2室

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

周修文;欧阳柏乐

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20190412
2019-07-09	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆转移装置与晶圆转移方法 [P].

贺云波 ;

王波 ;

刘青山 ;

刘凤玲 ;

陈桪 .

中国专利 :CN109994411B ,2024-05-24

[2]

晶圆转移装置及晶圆转移方法 [P].

游威 ;

陈涛 ;

靖春雷 ;

张孟南 .

中国专利 :CN119517839A ,2025-02-25

[3]

晶圆转移装置及晶圆转移方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109822419B ,2024-08-23

[4]

晶圆转移装置及晶圆转移方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109822419A ,2019-05-31

[5]

晶圆转移装置 [P].

黄永莲 ;

高娜 ;

刘传军 .

中国专利 :CN202917461U ,2013-05-01

[6]

晶圆转移装置 [P].

贺云波 ;

王波 ;

刘青山 ;

刘凤玲 ;

陈桪 .

中国专利 :CN209571395U ,2019-11-01

[7]

晶圆转移装置及晶圆转移系统 [P].

郭旭续 ;

宿非凡 ;

邓辉 ;

严凯 ;

张海斌 ;

秦文斌 ;

宗华 ;

朱晓波 ;

彭承志 ;

潘建伟 .

中国专利 :CN119208238A ,2024-12-27

[8]

晶圆转移装置 [P].

王二伟 .

中国专利 :CN211320066U ,2020-08-21

[9]

晶圆转移装置 [P].

黄中山 ;

金補哲 ;

朴绍延 ;

郑真焕 .

中国专利 :CN115360131A ,2022-11-18

[10]

晶圆转移装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN104409383B ,2015-03-11

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