晶圆转移装置及晶圆转移方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910161800.4

申请日：

2019-03-04

公开(公告)号：

CN109822419A

公开(公告)日：

2019-05-31

发明(设计)人：

潘雪明李鑫苏静洪

申请人：

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁经济开发区双联路129号6号楼

IPC主分类号：

B24B906

IPC分类号：

B24B4100 B24B4106

代理机构：

上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309

代理人：

张明;王再朝

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-31	公开	公开
2019-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 9/06 申请日:20190304

共 50 条

[1]

晶圆转移装置及晶圆转移方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109822419B ,2024-08-23

[2]

晶圆转移装置及晶圆转移方法 [P].

游威 ;

陈涛 ;

靖春雷 ;

张孟南 .

中国专利 :CN119517839A ,2025-02-25

[3]

晶圆转移装置 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN209831181U ,2019-12-24

[4]

晶圆转移装置及晶圆转移系统 [P].

郭旭续 ;

宿非凡 ;

邓辉 ;

严凯 ;

张海斌 ;

秦文斌 ;

宗华 ;

朱晓波 ;

彭承志 ;

潘建伟 .

中国专利 :CN119208238A ,2024-12-27

[5]

晶圆转移装置与晶圆转移方法 [P].

贺云波 ;

王波 ;

刘青山 ;

刘凤玲 ;

陈桪 .

中国专利 :CN109994411B ,2024-05-24

[6]

晶圆转移装置与晶圆转移方法 [P].

贺云波 ;

王波 ;

刘青山 ;

刘凤玲 ;

陈桪 .

中国专利 :CN109994411A ,2019-07-09

[7]

晶圆转移装置 [P].

王二伟 .

中国专利 :CN211320066U ,2020-08-21

[8]

晶圆转移装置 [P].

黄中山 ;

金補哲 ;

朴绍延 ;

郑真焕 .

中国专利 :CN115360131A ,2022-11-18

[9]

晶圆转移装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN104409383B ,2015-03-11

[10]

晶圆转移装置 [P].

严云飞 ;

吴凯 ;

林震 ;

李宗缘 ;

刘阿灶 ;

王鑫光 ;

刘斌 ;

姚飙 .

中国专利 :CN222126474U ,2024-12-06

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