晶圆转移装置及晶圆转移方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510099029.8

申请日：

2025-01-22

公开(公告)号：

CN119517839A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

游威陈涛靖春雷张孟南

申请人：

北京子牛亦东科技有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

张鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20250122
2025-02-25	公开	公开
2025-12-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):H01L 21/687申请公布日:20250225

共 50 条

[1]

晶圆转移装置及晶圆转移方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109822419B ,2024-08-23

[2]

晶圆转移装置及晶圆转移方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109822419A ,2019-05-31

[3]

晶圆转移装置及晶圆转移系统 [P].

郭旭续 ;

宿非凡 ;

邓辉 ;

严凯 ;

张海斌 ;

秦文斌 ;

宗华 ;

朱晓波 ;

彭承志 ;

潘建伟 .

中国专利 :CN119208238A ,2024-12-27

[4]

晶圆转移装置与晶圆转移方法 [P].

贺云波 ;

王波 ;

刘青山 ;

刘凤玲 ;

陈桪 .

中国专利 :CN109994411B ,2024-05-24

[5]

晶圆转移装置与晶圆转移方法 [P].

贺云波 ;

王波 ;

刘青山 ;

刘凤玲 ;

陈桪 .

中国专利 :CN109994411A ,2019-07-09

[6]

晶圆转移装置 [P].

陈广辉 .

中国专利 :CN215266251U ,2021-12-21

[7]

晶圆转移装置 [P].

王二伟 .

中国专利 :CN211320066U ,2020-08-21

[8]

晶圆转移装置 [P].

黄中山 ;

金補哲 ;

朴绍延 ;

郑真焕 .

中国专利 :CN115360131A ,2022-11-18

[9]

晶圆转移装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN104409383B ,2015-03-11

[10]

晶圆转移装置 [P].

严云飞 ;

吴凯 ;

林震 ;

李宗缘 ;

刘阿灶 ;

王鑫光 ;

刘斌 ;

姚飙 .

中国专利 :CN222126474U ,2024-12-06

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