一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721147496.0

申请日：

2017-09-08

公开(公告)号：

CN207425804U

公开(公告)日：

2018-05-29

发明(设计)人：

刘小军王正华

申请人：

申请人地址：

243000 安徽省马鞍山市马鞍山承接产业转移示范园区天津路1505号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

南京知识律师事务所 32207

代理人：

蒋海军

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170908 授权公告日:20180529 终止日期:20210908
2018-05-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅太阳能电池湿法刻蚀水洗装置 [P].

刘小军 ;

王正华 .

中国专利 :CN207183226U ,2018-04-03

[2]

一种制造晶硅太阳能电池的湿法刻蚀装置 [P].

权微娟 ;

韩玮智 ;

牛新伟 ;

仇展炜 .

中国专利 :CN203536374U ,2014-04-09

[3]

一种晶硅太阳能电池湿法刻蚀用上压滚轮 [P].

杨永平 .

中国专利 :CN205488174U ,2016-08-17

[4]

太阳能电池的湿法刻蚀方法和太阳能电池 [P].

刘海金 ;

陈刚 .

中国专利 :CN115132581A ,2022-09-30

[5]

单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置 [P].

程鹏飞 ;

龚双龙 ;

全余生 .

中国专利 :CN201962364U ,2011-09-07

[6]

太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板 [P].

孟利萍 .

中国专利 :CN201809440U ,2011-04-27

[7]

一种硅太阳能电池片的刻蚀夹具 [P].

郭爱军 ;

蔡耀辉 .

中国专利 :CN201717282U ,2011-01-19

[8]

一种硅太阳能电池等离子刻蚀装置 [P].

陈德榜 .

中国专利 :CN205920983U ,2017-02-01

[9]

单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置 [P].

程鹏飞 ;

龚双龙 ;

全余生 .

中国专利 :CN102605372A ,2012-07-25

[10]

一种硅太阳能电池 [P].

孔慧 .

中国专利 :CN202042507U ,2011-11-16

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