一种制造晶硅太阳能电池的湿法刻蚀装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201320690263.0
申请日
2013-11-01
公开(公告)号
CN203536374U
公开(公告)日
2014-04-09
发明(设计)人
权微娟 韩玮智 牛新伟 仇展炜
申请人
申请人地址
310053 浙江省杭州市滨江区滨安路1335号
IPC主分类号
H01L21306
IPC分类号
H01L3118
代理机构
北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370
代理人
冯谱
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[10]
一种晶硅太阳能电池 [P]. 
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方结彬 ;
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