改善光学系统成像特性的方法以及光学系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880002851.2

申请日：

2008-01-22

公开(公告)号：

CN101589342A

公开(公告)日：

2009-11-25

发明(设计)人：

奥拉夫·康拉迪

申请人：

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

邱军

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-02-17	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-11-25	公开	公开
2017-09-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758378674 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2008800028512 申请公布日:20091125

共 50 条

[1]

光学系统以及组装光学系统的方法 [P].

王英任 ;

赵科纶 ;

陈怡和 ;

吴亚修 .

中国专利 :CN113970854A ,2022-01-25

[2]

成像光学系统 [P].

H-J.曼恩 .

中国专利 :CN103109225A ,2013-05-15

[3]

成像光学系统 [P].

幡手公英 ;

坂上典久 .

中国专利 :CN100410714C ,2006-03-29

[4]

成像光学系统 [P].

H-J.曼恩 .

中国专利 :CN106873135A ,2017-06-20

[5]

光学系统，以及用于操作光学系统的方法 [P].

A·拉巴 ;

H·M·史蒂潘 ;

J·利珀特 ;

M·拉布 ;

A·维特 .

德国专利 :CN120077327A ,2025-05-30

[6]

光学系统以及光学系统的控制方法 [P].

宋欣忠 ;

郑亦淳 .

中国专利 :CN110086981A ,2019-08-02

[7]

光学系统和包括光学系统的成像装置 [P].

横山贵嘉 .

中国专利 :CN110488455A ,2019-11-22

[8]

光学系统、光学设备以及光学系统的制造方法 [P].

三轮哲史 ;

籔本洋 .

中国专利 :CN109477950A ,2019-03-15

[9]

光学系统、包括光学系统的光刻设备以及包括光学系统的布置 [P].

R·基泽尔 .

德国专利 :CN120266061A ,2025-07-04

[10]

光学系统、观察光学系统以及光学装置 [P].

永原晓子 ;

永利由纪子 .

中国专利 :CN105589192A ,2016-05-18

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