光学系统，以及用于操作光学系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380075632.1

申请日：

2023-09-20

公开(公告)号：

CN120077327A

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

A·拉巴 H·M·史蒂潘 J·利珀特 M·拉布 A·维特

申请人：

卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王蕊瑞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20230920
2025-05-30	公开	公开

共 50 条

[1]

用于操作光学系统的方法和光学系统 [P].

A·韦甘德 ;

F·朗格 ;

M·森德 ;

A·希多伦科 ;

F·沙佩尔 ;

M·哈特林 ;

K·希克 .

德国专利 :CN120559957A ,2025-08-29

[2]

光学系统以及组装光学系统的方法 [P].

王英任 ;

赵科纶 ;

陈怡和 ;

吴亚修 .

中国专利 :CN113970854A ,2022-01-25

[3]

光学系统以及光学系统的控制方法 [P].

宋欣忠 ;

郑亦淳 .

中国专利 :CN110086981A ,2019-08-02

[4]

光学系统、光学设备以及光学系统的制造方法 [P].

三轮哲史 ;

籔本洋 .

中国专利 :CN109477950A ,2019-03-15

[5]

光学系统、包括光学系统的光刻设备以及包括光学系统的布置 [P].

R·基泽尔 .

德国专利 :CN120266061A ,2025-07-04

[6]

光学系统、观察光学系统以及光学装置 [P].

永原晓子 ;

永利由纪子 .

中国专利 :CN105589192A ,2016-05-18

[7]

用于产生光学系统的方法以及光学系统 [P].

P-I·迪特里希 ;

C·库斯 ;

M·布莱克 ;

I·罗伊特 ;

Y·许 .

中国专利 :CN109983381B ,2019-07-05

[8]

改善光学系统成像特性的方法以及光学系统 [P].

奥拉夫·康拉迪 .

中国专利 :CN101589342A ,2009-11-25

[9]

光学系统、光学装置以及光学系统的制造方法 [P].

大竹史哲 .

中国专利 :CN114258506A ,2022-03-29

[10]

光学系统的操作方法和光学系统 [P].

约阿希姆·卢伯 .

中国专利 :CN101365977B ,2009-02-11

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