一种新型真空设备观察窗挡板机构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201520488614.9
申请日
2015-07-09
公开(公告)号
CN204849017U
公开(公告)日
2015-12-09
发明(设计)人
金云华 李抚龙 何奋 刘敏
申请人
申请人地址
116000 辽宁省大连市保税区111B-6
IPC主分类号
C23C1452
IPC分类号
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代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
一种新型真空设备观察窗挡板机构 [P]. 
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
观察窗挡板结构和真空镀膜设备 [P]. 
罗捷 ;
项舰 ;
周帅 ;
刘鹏 ;
徐军军 .
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[8]
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[9]
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[10]
一种真空镀膜设备用观察窗装置 [P]. 
张俊峰 ;
赵子东 ;
张志阳 ;
魏庆瑄 .
中国专利 :CN218291103U ,2023-01-13