基于AlN压电薄膜的无线无源声表面波高温应变传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910544793.6

申请日：

2019-06-21

公开(公告)号：

CN110307811A

公开(公告)日：

2019-10-08

发明(设计)人：

王文范淑瑶李学玲贾雅娜梁勇

申请人：

申请人地址：

100080 北京市海淀区北四环西路21号

IPC主分类号：

G01B1704

IPC分类号：

G01S1388

代理机构：

北京金智普华知识产权代理有限公司 11401

代理人：

皋吉甫

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-08	公开	公开
2022-02-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 17/04 申请公布日:20191008
2019-11-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 17/04 申请日:20190621

共 50 条

[1]

一种无线无源声表面波应变传感器 [P].

王文 ;

王毅坚 ;

薛蓄峰 ;

梁勇 .

中国专利 :CN107014325B ,2017-08-04

[2]

基于SOI和压电薄膜的声表面波高温应变传感器芯片及其应用结构 [P].

牟笑静 ;

窦韶旭 ;

齐梦珂 .

中国专利 :CN207622713U ,2018-07-17

[3]

高温(600℃)压力测量无源无线声表面波传感器 [P].

徐春广 ;

周世圆 ;

张运涛 ;

刘婧 ;

肖定国 ;

赵新玉 ;

郝娟 ;

孟凡武 ;

潘勤学 .

中国专利 :CN102169036A ,2011-08-31

[4]

一种差分式谐振器型的无线无源声表面波应变传感器 [P].

王文 ;

王毅坚 ;

薛蓄峰 ;

梁勇 .

中国专利 :CN107289883A ,2017-10-24

[5]

一种基于SOI和压电薄膜的声表面波高温应变传感器芯片及其制备方法 [P].

牟笑静 ;

窦韶旭 ;

齐梦珂 .

中国专利 :CN107462192A ,2017-12-12

[6]

无源无线声表面波高温热流传感器 [P].

韩韬 ;

杨扬 .

中国专利 :CN211013312U ,2020-07-14

[7]

无源无线声表面波高温热流传感器 [P].

韩韬 ;

杨扬 .

中国专利 :CN110375890B ,2024-08-06

[8]

基于金属薄板和压电薄膜的声表面波高温应变传感器芯片及其应用结构 [P].

牟笑静 ;

窦韶旭 ;

齐梦珂 .

中国专利 :CN207585556U ,2018-07-06

[9]

无源无线声表面波高温热流传感器 [P].

韩韬 ;

杨扬 .

中国专利 :CN110375890A ,2019-10-25

[10]

全双工无源无线声表面波传感器 [P].

文玉梅 ;

李平 ;

杨进 ;

文静 ;

邱景 .

中国专利 :CN104363000A ,2015-02-18

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