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用于处理基板的工艺腔室和静电吸盘
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921109915.0
申请日：
2019-07-15
公开(公告)号：
CN210296330U
公开(公告)日：
2020-04-10
发明(设计)人：
J·西蒙斯
D·洛弗尔
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
侯颖媖;张鑫
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-04-10 | 授权 | 授权 |