检查装置、检查单元及检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780049840.9

申请日：

2017-11-13

公开(公告)号：

CN109716124A

公开(公告)日：

2019-05-03

发明(设计)人：

家永裕文丸小庆介

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01N2904

IPC分类号：

G01N2188

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

朴渊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 29/04 申请日:20171113
2019-05-03	公开	公开
2022-03-25	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃 IPC(主分类):G01N 29/04 放弃生效日:20220325

共 50 条

[1]

检查装置及检查方法 [P].

藤井达久 ;

门田和浩 ;

笠井干也 ;

石冈圣悟 ;

山冈秀嗣 .

中国专利 :CN1556926A ,2004-12-22

[2]

检查装置及检查方法 [P].

冈野幸儿 ;

石冈圣悟 .

中国专利 :CN1175275C ,2003-01-01

[3]

检查装置及检查方法 [P].

河崎武士 ;

藤井雅治 .

中国专利 :CN113834812A ,2021-12-24

[4]

检查装置及检查方法 [P].

星合则幸 ;

宫崎伸一 .

中国专利 :CN110346642A ,2019-10-18

[5]

检查方法及检查装置 [P].

奈良晃宽 ;

片山广树 .

日本专利 :CN118202242A ,2024-06-14

[6]

检查装置及检查方法 [P].

水野英治 ;

田中秀司 ;

绞缬大志 ;

原弘树 .

中国专利 :CN105102088A ,2015-11-25

[7]

检查装置及检查方法 [P].

岩见功司 ;

岸田阳一 .

中国专利 :CN111527371B ,2020-08-11

[8]

检查装置及检查方法 [P].

藤井达久 ;

石冈圣悟 .

中国专利 :CN1383489A ,2002-12-04

[9]

检查装置及检查方法 [P].

上条秀章 .

中国专利 :CN100444204C ,2004-10-13

[10]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974599A ,2019-07-05

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