检查装置及检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410008287.9

申请日：

2004-02-27

公开(公告)号：

CN100444204C

公开(公告)日：

2004-10-13

发明(设计)人：

上条秀章

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G07D712

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

茅翊忞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-10-13	公开	公开
2015-04-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101605904365 IPC(主分类):G07D 7/12 专利号:ZL2004100082879 申请日:20040227 授权公告日:20081217 终止日期:20140227
2006-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-12-17	授权	授权

共 50 条

[1]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN109974598B ,2019-07-05

[2]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

洪映周 ;

洪德和 ;

金玟奎 ;

崔桢熏 .

中国专利 :CN113324487A ,2021-08-31

[3]

检查装置、检查单元及检查方法 [P].

家永裕文 ;

丸小庆介 .

中国专利 :CN109716124A ,2019-05-03

[4]

检查装置及检查方法 [P].

藤井达久 ;

门田和浩 ;

笠井干也 ;

石冈圣悟 ;

山冈秀嗣 .

中国专利 :CN1556926A ,2004-12-22

[5]

检查装置及检查方法 [P].

冈野幸儿 ;

石冈圣悟 .

中国专利 :CN1175275C ,2003-01-01

[6]

检查装置及检查方法 [P].

河崎武士 ;

藤井雅治 .

中国专利 :CN113834812A ,2021-12-24

[7]

检查装置及检查方法 [P].

星合则幸 ;

宫崎伸一 .

中国专利 :CN110346642A ,2019-10-18

[8]

检查装置及检查方法 [P].

水野英治 ;

田中秀司 ;

绞缬大志 ;

原弘树 .

中国专利 :CN105102088A ,2015-11-25

[9]

检查装置及检查方法 [P].

岩见功司 ;

岸田阳一 .

中国专利 :CN111527371B ,2020-08-11

[10]

检查装置及检查方法 [P].

藤井达久 ;

石冈圣悟 .

中国专利 :CN1383489A ,2002-12-04

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