一种19.5nm多层膜反射镜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811258124.4

申请日：

2018-10-26

公开(公告)号：

CN109254338A

公开(公告)日：

2019-01-22

发明(设计)人：

王孝东陈波王海峰刘阳

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G02B508

IPC分类号：

代理机构：

深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人：

曹卫良

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02B 5/08 申请公布日:20190122
2019-02-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/08 申请日:20181026
2019-01-22	公开	公开

共 50 条

[1]

多层膜反射镜、多层膜反射镜的制造方法及曝光系统 [P].

神高典明 ;

村上胜彦 ;

小宫毅治 ;

白石雅之 .

中国专利 :CN100449690C ,2006-11-22

[2]

一种多层膜反射镜及其制备方法 [P].

李丰华 ;

李笑然 ;

赵娇玲 .

中国专利 :CN117518321A ,2024-02-06

[3]

氮化物半导体多层膜反射镜以及使用了该反射镜的发光元件 [P].

竹内哲也 ;

岩谷素顕 ;

赤崎勇 .

中国专利 :CN105103392A ,2015-11-25

[4]

一种X射线多层膜反射镜的制备方法 [P].

李艳丽 ;

孔祥东 ;

韩立 ;

姚广宇 ;

董增雅 .

中国专利 :CN111575678A ,2020-08-25

[5]

高反射率高纯度X射线多层膜反射镜的制备方法及反射镜 [P].

黄秋实 ;

王占山 ;

齐润泽 ;

张众 ;

倪航剑 .

中国专利 :CN111996506A ,2020-11-27

[6]

一种X射线多层膜反射镜及其制作方法 [P].

温炜杰 ;

杨苹 ;

梁兆佳 .

中国专利 :CN116189955B ,2024-02-02

[7]

一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P].

张众 ;

钟奇 ;

王占山 .

中国专利 :CN103048712B ,2013-04-17

[8]

一种X射线多层膜反射镜的调节方法及应用 [P].

朱常青 ;

唐永森 ;

李英骏 ;

鲁欣 ;

陈黎明 .

中国专利 :CN111722264B ,2020-09-29

[9]

一种用于EUV多层膜反射镜的微振动抑制结构 [P].

张建华 ;

陈乔羽 ;

凌晓 ;

赵劲博 ;

张逸莅 ;

肖皓轩 .

中国专利 :CN121047934A ,2025-12-02

[10]

一种单色器用钌/碳化硼多层膜反射镜制备方法 [P].

黄秋实 ;

王占山 ;

刘阳 ;

张众 .

中国专利 :CN108359950A ,2018-08-03

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