一种多层膜反射镜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311748343.1

申请日：

2023-12-18

公开(公告)号：

CN117518321A

公开(公告)日：

2024-02-06

发明(设计)人：

李丰华李笑然赵娇玲

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

201800 上海市嘉定区清河路390号

IPC主分类号：

G02B5/08

IPC分类号：

G02B1/10

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

辛元石

法律状态：

公开

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-06	公开	公开
2024-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/08申请日:20231218

共 50 条

[1]

多层膜反射镜、多层膜反射镜的制造方法及曝光系统 [P].

神高典明 ;

村上胜彦 ;

小宫毅治 ;

白石雅之 .

中国专利 :CN100449690C ,2006-11-22

[2]

Mg<sub>2</sub>Si/Sc多层膜反射镜及其制备方法 [P].

王孝东 ;

陈波 ;

王萍旭 .

中国专利 :CN120276085A ,2025-07-08

[3]

一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P].

张众 ;

钟奇 ;

王占山 .

中国专利 :CN102520470A ,2012-06-27

[4]

一种X射线多层膜反射镜的制备方法 [P].

李艳丽 ;

孔祥东 ;

韩立 ;

姚广宇 ;

董增雅 .

中国专利 :CN111575678A ,2020-08-25

[5]

高反射率高纯度X射线多层膜反射镜的制备方法及反射镜 [P].

黄秋实 ;

王占山 ;

齐润泽 ;

张众 ;

倪航剑 .

中国专利 :CN111996506A ,2020-11-27

[6]

一种20~70eV宽带真空紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P].

陈炎波 ;

朱运平 .

中国专利 :CN120802417A ,2025-10-17

[7]

一种X射线多层膜反射镜及其制作方法 [P].

温炜杰 ;

杨苹 ;

梁兆佳 .

中国专利 :CN116189955B ,2024-02-02

[8]

一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P].

张众 ;

钟奇 ;

王占山 .

中国专利 :CN103048712B ,2013-04-17

[9]

一种19.5nm多层膜反射镜 [P].

王孝东 ;

陈波 ;

王海峰 ;

刘阳 .

中国专利 :CN109254338A ,2019-01-22

[10]

一种HfO2/Al2O3多层膜反射镜及其制备方法 [P].

潘孝军 ;

吴宏昌 ;

孔祥东 ;

李艳丽 ;

张新月 ;

王纲 ;

靳梦静 ;

白兆文 .

中国专利 :CN114774881A ,2022-07-22

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