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Mg<sub>2</sub>Si/Sc多层膜反射镜及其制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510746938.6
申请日：
2025-06-05
公开(公告)号：
CN120276085A
公开(公告)日：
2025-07-08
发明(设计)人：
王孝东 陈波 王萍旭
申请人：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址：
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
IPC主分类号：
G02B5/08
IPC分类号：
C23C14/06 C23C14/16 C23C14/18 C23C14/35 C23C14/54
代理机构：
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218
代理人：
张羽
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-25 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/08申请日:20250605
2025-07-08 公开 公开
共 50 条
[1]
Mo<sub>2</sub>C/Ge多层膜反射镜及其制备方法 [P]. 
王孝东 ;
陈波 ;
王萍旭 .
中国专利 :CN120491229A ,2025-08-15
[2]
一种多层膜反射镜及其制备方法 [P]. 
李丰华 ;
李笑然 ;
赵娇玲 .
中国专利 :CN117518321A ,2024-02-06
[3]
多层膜反射镜、多层膜反射镜的制造方法及曝光系统 [P]. 
神高典明 ;
村上胜彦 ;
小宫毅治 ;
白石雅之 .
中国专利 :CN100449690C ,2006-11-22
[4]
Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P]. 
朱京涛 ;
周斯卡 ;
李浩川 ;
王占山 .
中国专利 :CN102955185A ,2013-03-06
[5]
一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P]. 
张众 ;
钟奇 ;
王占山 .
中国专利 :CN102520470A ,2012-06-27
[6]
非周期双通道多层膜反射镜和非周期多层膜的设计方法 [P]. 
王瀚林 ;
王孝东 ;
刘茜 ;
王萍旭 ;
王洋 ;
刘世界 ;
陈波 .
中国专利 :CN120010041A ,2025-05-16
[7]
非周期双通道多层膜反射镜和非周期多层膜的设计方法 [P]. 
王瀚林 ;
王孝东 ;
刘茜 ;
王萍旭 ;
王洋 ;
刘世界 ;
陈波 .
中国专利 :CN120010041B ,2025-10-10
[8]
一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P]. 
朱京涛 ;
周斯卡 ;
李浩川 ;
王占山 .
中国专利 :CN102866442A ,2013-01-09
[9]
高反射率高纯度X射线多层膜反射镜的制备方法及反射镜 [P]. 
黄秋实 ;
王占山 ;
齐润泽 ;
张众 ;
倪航剑 .
中国专利 :CN111996506A ,2020-11-27
[10]
一种HfO2/Al2O3多层膜反射镜及其制备方法 [P]. 
潘孝军 ;
吴宏昌 ;
孔祥东 ;
李艳丽 ;
张新月 ;
王纲 ;
靳梦静 ;
白兆文 .
中国专利 :CN114774881A ,2022-07-22
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