一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110425986.3

申请日：

2011-12-19

公开(公告)号：

CN102520470A

公开(公告)日：

2012-06-27

发明(设计)人：

张众钟奇王占山

申请人：

申请人地址：

200092 上海市杨浦区四平路1239号

IPC主分类号：

G02B508

IPC分类号：

G02B110 B32B904 B32B1700 C23C1435 C23C1418 C23C1406

代理机构：

上海智信专利代理有限公司 31002

代理人：

吴林松

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101320542292 IPC(主分类):G02B 5/08 专利申请号:2011104259863 申请日:20111219
2014-06-25	授权	授权
2012-06-27	公开	公开
2018-02-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 5/08 申请日:20111219 授权公告日:20140625 终止日期:20161219

共 50 条

[1]

一种硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P].

张众 ;

钟奇 ;

王占山 .

中国专利 :CN102681055B ,2012-09-19

[2]

一种硅铝合金/硅/锆/硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P].

张众 ;

钟奇 ;

王占山 .

中国专利 :CN103076644B ,2013-05-01

[3]

碳化硅反射镜 [P].

唐惠东 ;

蒋恒蔚 ;

侯林燕 ;

鞠宇飞 ;

肖雪军 ;

徐开胜 ;

李龙珠 ;

孙媛媛 ;

刘文斌 .

中国专利 :CN101887139A ,2010-11-17

[4]

一种碳化硅反射镜 [P].

史彦民 ;

徐正平 ;

龙成勇 ;

徐乃安 .

中国专利 :CN213069307U ,2021-04-27

[5]

一种碳化硅反射镜 [P].

任建岳 ;

谢新旺 ;

田利峰 ;

陈俊江 .

中国专利 :CN111308644A ,2020-06-19

[6]

一种碳化硅反射镜 [P].

陶春 .

中国专利 :CN218298635U ,2023-01-13

[7]

一种碳化硅反射镜 [P].

代阳光 .

中国专利 :CN218383446U ,2023-01-24

[8]

一种多层膜反射镜及其制备方法 [P].

李丰华 ;

李笑然 ;

赵娇玲 .

中国专利 :CN117518321A ,2024-02-06

[9]

一种铝碳化硅材质反射镜制备方法 [P].

刘波波 ;

王号旗 ;

刘艳芬 .

中国专利 :CN107500774A ,2017-12-22

[10]

反射镜支撑背板（碳化硅） [P].

李明新 ;

李冰 .

中国专利 :CN306988934S ,2021-12-10

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