一种硅铝合金/硅/锆/硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310006877.7
申请日
2013-01-09
公开(公告)号
CN103076644B
公开(公告)日
2013-05-01
发明(设计)人
张众 钟奇 王占山
申请人
申请人地址
200092 上海市杨浦区四平路1239号
IPC主分类号
G02B508
IPC分类号
G02B110 C23C1435 C23C1454
代理机构
上海智信专利代理有限公司 31002
代理人
吴林松
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P]. 
张众 ;
钟奇 ;
王占山 .
中国专利 :CN102681055B ,2012-09-19
[2]
一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P]. 
张众 ;
钟奇 ;
王占山 .
中国专利 :CN102520470A ,2012-06-27
[3]
一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P]. 
张众 ;
钟奇 ;
王占山 .
中国专利 :CN103048712B ,2013-04-17
[4]
硅铝合金及其制备方法 [P]. 
陈学敏 ;
达克沃斯·罗纳德·雷 ;
余跃明 ;
王庆超 ;
周志 .
中国专利 :CN111378887A ,2020-07-07
[5]
一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P]. 
朱京涛 ;
周斯卡 ;
李浩川 ;
王占山 .
中国专利 :CN102866442A ,2013-01-09
[6]
Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P]. 
朱京涛 ;
周斯卡 ;
李浩川 ;
王占山 .
中国专利 :CN102955185A ,2013-03-06
[7]
一种硅铝合金及其制备方法 [P]. 
高义根 .
中国专利 :CN104480355B ,2015-04-01
[8]
高硅铝合金及其制备方法 [P]. 
田永 ;
刘志祥 ;
毕红兴 ;
王建波 ;
何霞 ;
卢国洪 ;
袁崇胜 ;
刘惠军 ;
匡美淑 ;
段祖荣 ;
康万福 ;
王正勇 ;
周杰 ;
徐朝省 ;
鲁必耀 ;
张忠益 ;
赵兴凡 ;
任承伟 ;
赵茂庚 .
中国专利 :CN104831132A ,2015-08-12
[9]
一种硅铝合金精炼变质剂及其制备方法及压铸硅铝合金的制备方法及制备的压铸硅铝合金 [P]. 
于焕云 ;
吴波 ;
金启明 ;
朱琦 .
中国专利 :CN106811614B ,2017-06-09
[10]
制备硅铝合金的方法 [P]. 
王欣 ;
刘占华 ;
王岩 ;
陈文亮 ;
丁银贵 ;
曹志成 ;
吴道洪 .
中国专利 :CN108130435A ,2018-06-08