一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110189133.4

申请日：

2011-07-07

公开(公告)号：

CN102866442A

公开(公告)日：

2013-01-09

发明(设计)人：

朱京涛周斯卡李浩川王占山

申请人：

申请人地址：

200092 上海市杨浦区四平路1239号

IPC主分类号：

G02B508

IPC分类号：

G02B110 B32B904 B32B1500 C03C1736

代理机构：

上海科盛知识产权代理有限公司 31225

代理人：

林君如

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101397918458 IPC(主分类):G02B 5/08 专利申请号:2011101891334 申请日:20110707
2013-01-09	公开	公开
2015-04-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101713214138 IPC(主分类):G02B 5/08 专利申请号:2011101891334 申请公布日:20130109

共 50 条

[1]

Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P].

朱京涛 ;

周斯卡 ;

李浩川 ;

王占山 .

中国专利 :CN102955185A ,2013-03-06

[2]

一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P].

张众 ;

钟奇 ;

王占山 .

中国专利 :CN103048712B ,2013-04-17

[3]

一种硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P].

张众 ;

钟奇 ;

王占山 .

中国专利 :CN102681055B ,2012-09-19

[4]

一种X射线多层膜反射镜及其制作方法 [P].

温炜杰 ;

杨苹 ;

梁兆佳 .

中国专利 :CN116189955B ,2024-02-02

[5]

一种硅铝合金/硅/锆/硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P].

张众 ;

钟奇 ;

王占山 .

中国专利 :CN103076644B ,2013-05-01

[6]

一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法 [P].

张众 ;

钟奇 ;

王占山 .

中国专利 :CN102520470A ,2012-06-27

[7]

Mg<sub>2</sub>Si/Sc多层膜反射镜及其制备方法 [P].

王孝东 ;

陈波 ;

王萍旭 .

中国专利 :CN120276085A ,2025-07-08

[8]

一种多层膜反射镜及其制备方法 [P].

李丰华 ;

李笑然 ;

赵娇玲 .

中国专利 :CN117518321A ,2024-02-06

[9]

Cr/C高热稳定性X射线多层膜反射镜及其制备方法 [P].

涂昱淳 ;

朱京涛 ;

袁妍妍 ;

叶君建 ;

谢志勇 ;

王伟 ;

黄秀光 ;

傅思祖 .

中国专利 :CN109298475B ,2019-02-01

[10]

车载HUD反射镜及其制作方法 [P].

李青 ;

李赫然 ;

苏明明 ;

展贵鑫 .

中国专利 :CN117342800A ,2024-01-05

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