Cr/C高热稳定性X射线多层膜反射镜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811487200.9

申请日：

2018-12-06

公开(公告)号：

CN109298475B

公开(公告)日：

2019-02-01

发明(设计)人：

涂昱淳朱京涛袁妍妍叶君建谢志勇王伟黄秀光傅思祖

申请人：

申请人地址：

201899 上海市嘉定区陈家山路1129号

IPC主分类号：

G02B508

IPC分类号：

C23C1435 C23C1418 C23C1416 C23C1406

代理机构：

上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105

代理人：

周涛

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-01	公开	公开
2019-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/08 申请日:20181206
2021-05-04	授权	授权

共 50 条

[1]

高反射率高纯度X射线多层膜反射镜的制备方法及反射镜 [P].

黄秋实 ;

王占山 ;

齐润泽 ;

张众 ;

倪航剑 .

中国专利 :CN111996506A ,2020-11-27

[2]

一种X射线多层膜反射镜的制备方法 [P].

李艳丽 ;

孔祥东 ;

韩立 ;

姚广宇 ;

董增雅 .

中国专利 :CN111575678A ,2020-08-25

[3]

一种X射线多层膜反射镜及其制作方法 [P].

温炜杰 ;

杨苹 ;

梁兆佳 .

中国专利 :CN116189955B ,2024-02-02

[4]

Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P].

朱京涛 ;

周斯卡 ;

李浩川 ;

王占山 .

中国专利 :CN102955185A ,2013-03-06

[5]

Mo<sub>2</sub>C/Ge多层膜反射镜及其制备方法 [P].

王孝东 ;

陈波 ;

王萍旭 .

中国专利 :CN120491229A ,2025-08-15

[6]

一种X射线多层膜反射镜的调节方法及应用 [P].

朱常青 ;

唐永森 ;

李英骏 ;

鲁欣 ;

陈黎明 .

中国专利 :CN111722264B ,2020-09-29

[7]

一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P].

朱京涛 ;

周斯卡 ;

李浩川 ;

王占山 .

中国专利 :CN102866442A ,2013-01-09

[8]

一种多层膜反射镜及其制备方法 [P].

李丰华 ;

李笑然 ;

赵娇玲 .

中国专利 :CN117518321A ,2024-02-06

[9]

多层膜反射镜、多层膜反射镜的制造方法及曝光系统 [P].

神高典明 ;

村上胜彦 ;

小宫毅治 ;

白石雅之 .

中国专利 :CN100449690C ,2006-11-22

[10]

提高X射线光源光谱纯度的多层膜反射镜表面帽层结构 [P].

黄秋实 ;

汤丰锐 ;

齐润泽 .

中国专利 :CN118824594A ,2024-10-22

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