非周期双通道多层膜反射镜和非周期多层膜的设计方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510166841.8

申请日：

2025-02-14

公开(公告)号：

CN120010041B

公开(公告)日：

2025-10-10

发明(设计)人：

王瀚林王孝东刘茜王萍旭王洋刘世界陈波

申请人：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G02B5/08

IPC分类号：

G02B23/02 G02B27/00

代理机构：

长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218

代理人：

孙艳辉

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-10	授权	授权
2025-06-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/08申请日:20250214
2025-05-16	公开	公开

共 50 条

[1]

非周期双通道多层膜反射镜和非周期多层膜的设计方法 [P].

王瀚林 ;

王孝东 ;

刘茜 ;

王萍旭 ;

王洋 ;

刘世界 ;

陈波 .

中国专利 :CN120010041A ,2025-05-16

[2]

一种Ni/Ti非周期多层膜及其制备方法和应用、Ni/Ti非周期多层膜中子超反射镜 [P].

朱京涛 ;

孙航 ;

林旺 ;

陈溢祺 ;

屠洛涔 ;

郭汉明 .

中国专利 :CN114428091A ,2022-05-03

[3]

多层膜反射镜、多层膜反射镜的制造方法及曝光系统 [P].

神高典明 ;

村上胜彦 ;

小宫毅治 ;

白石雅之 .

中国专利 :CN100449690C ,2006-11-22

[4]

Mg<sub>2</sub>Si/Sc多层膜反射镜及其制备方法 [P].

王孝东 ;

陈波 ;

王萍旭 .

中国专利 :CN120276085A ,2025-07-08

[5]

Mo<sub>2</sub>C/Ge多层膜反射镜及其制备方法 [P].

王孝东 ;

陈波 ;

王萍旭 .

中国专利 :CN120491229A ,2025-08-15

[6]

一种多层膜反射镜及其制备方法 [P].

李丰华 ;

李笑然 ;

赵娇玲 .

中国专利 :CN117518321A ,2024-02-06

[7]

高反射率高纯度X射线多层膜反射镜的制备方法及反射镜 [P].

黄秋实 ;

王占山 ;

齐润泽 ;

张众 ;

倪航剑 .

中国专利 :CN111996506A ,2020-11-27

[8]

一种X射线多层膜反射镜的制备方法 [P].

李艳丽 ;

孔祥东 ;

韩立 ;

姚广宇 ;

董增雅 .

中国专利 :CN111575678A ,2020-08-25

[9]

一种19.5nm多层膜反射镜 [P].

王孝东 ;

陈波 ;

王海峰 ;

刘阳 .

中国专利 :CN109254338A ,2019-01-22

[10]

Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法 [P].

朱京涛 ;

周斯卡 ;

李浩川 ;

王占山 .

中国专利 :CN102955185A ,2013-03-06

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