晶圆冷却装置、匀胶显影机及光刻设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821198070.2

申请日：

2018-07-26

公开(公告)号：

CN208444823U

公开(公告)日：

2019-01-29

发明(设计)人：

沈雪苏延洪柯汎宗黄志凯叶日铨

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167 H01L21683

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种匀胶显影机的晶圆冷却装置 [P].

吴想 ;

全有涛 .

中国专利 :CN218215224U ,2023-01-03

[2]

一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置 [P].

刘雍文 ;

贺武峰 .

中国专利 :CN217846890U ,2022-11-18

[3]

匀胶显影机的冷却装置 [P].

丁桃宝 ;

刘毅 .

中国专利 :CN208796024U ,2019-04-26

[4]

一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置 [P].

吴想 ;

戴文海 ;

周加宏 .

中国专利 :CN214311292U ,2021-09-28

[5]

一种匀胶显影机 [P].

蔡明堂 ;

黄宽信 .

中国专利 :CN214474411U ,2021-10-22

[6]

一种匀胶显影机的晶圆拿取装置 [P].

吴萍 ;

罗词雷 .

中国专利 :CN218383660U ,2023-01-24

[7]

一种多工位晶圆匀胶显影机 [P].

周园 .

中国专利 :CN221746436U ,2024-09-20

[8]

一种匀胶显影机的晶圆拿取装置 [P].

刘芳 ;

刘天石 .

中国专利 :CN220419795U ,2024-01-30

[9]

一种光刻胶匀胶显影机的冷却保温装置 [P].

宋里千 ;

陈武档 ;

周国波 ;

赖艺珠 ;

梁荣增 .

中国专利 :CN210155511U ,2020-03-17

[10]

匀胶显影机 [P].

楼文伟 ;

胡宁波 .

中国专利 :CN306236989S ,2020-12-18

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