一种匀胶显影机的晶圆拿取装置

被引：0

申请号：

CN202222771083.7

申请日：

2022-10-21

公开(公告)号：

CN218383660U

公开(公告)日：

2023-01-24

发明(设计)人：

吴萍罗词雷

申请人：

申请人地址：

334000 江西省上饶市广丰区上饶高新区霞峰电子信息产业园

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F730

代理机构：

南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142

代理人：

吴凑生

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种匀胶显影机的晶圆拿取装置 [P].

刘芳 ;

刘天石 .

中国专利 :CN220419795U ,2024-01-30

[2]

一种匀胶显影机的晶圆冷却装置 [P].

吴想 ;

全有涛 .

中国专利 :CN218215224U ,2023-01-03

[3]

一种多工位晶圆匀胶显影机 [P].

周园 .

中国专利 :CN221746436U ,2024-09-20

[4]

一种匀胶显影机的晶圆定位支托装置 [P].

张雪奎 ;

徐金鑫 ;

梁志鹏 ;

刘增增 ;

张少帆 .

中国专利 :CN223501294U ,2025-10-31

[5]

晶圆冷却装置、匀胶显影机及光刻设备 [P].

沈雪 ;

苏延洪 ;

柯汎宗 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208444823U ,2019-01-29

[6]

一种匀胶显影机 [P].

蔡明堂 ;

黄宽信 .

中国专利 :CN214474411U ,2021-10-22

[7]

匀胶显影机 [P].

楼文伟 ;

胡宁波 .

中国专利 :CN306236989S ,2020-12-18

[8]

匀胶显影机 [P].

楼文伟 .

中国专利 :CN308765957S ,2024-08-02

[9]

匀胶显影机 [P].

傅立超 .

中国专利 :CN305017975S ,2019-01-29

[10]

一种具有自清洁功能的晶圆匀胶显影机 [P].

张宽宽 ;

符学进 ;

胡二涛 ;

赵生龙 ;

胡根生 ;

张广东 .

中国专利 :CN119247708A ,2025-01-03

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