制造衍射光栅的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880038472.2

申请日：

2018-05-18

公开(公告)号：

CN111065941A

公开(公告)日：

2020-04-24

发明(设计)人：

J·奥尔科宁 I·瓦蒂亚宁 J·拉霍迈基

申请人：

申请人地址：

芬兰埃斯波

IPC主分类号：

G02B518

IPC分类号：

G02B600 G02B2608 G02B2709 C23C1601 C23C1604 H01L2102

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

杨洁;蔡悦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/18 申请日:20180518
2020-04-24	公开	公开

共 50 条

[1]

制造衍射光栅的方法 [P].

J·奥尔科宁 ;

I·瓦蒂亚宁 ;

J·拉霍迈基 .

:CN119986883A ,2025-05-13

[2]

衍射光栅的制造方法和复制衍射光栅的制造方法 [P].

八重㭴健太 ;

江畠佳定 ;

青野宇纪 .

日本专利 :CN117501156A ,2024-02-02

[3]

衍射光栅的制造方法 [P].

土岐贵弘 ;

和田幸久 ;

德田敏 ;

林信和 ;

吉牟田利典 .

中国专利 :CN108470596A ,2018-08-31

[4]

制造衍射光栅的方法 [P].

杨书强 ;

K·罗 ;

V·辛格 ;

F·Y·徐 .

中国专利 :CN114514443A ,2022-05-17

[5]

衍射光栅、衍射光栅的制造方法和光掩模 [P].

八重樫健太 ;

江畠佳定 .

中国专利 :CN114174872A ,2022-03-11

[6]

色散元件、衍射光栅和制造衍射光栅的方法 [P].

平洋一 ;

中野大树 .

中国专利 :CN1306286C ,2005-04-13

[7]

凹面衍射光栅的制造方法、制造装置以及凹面衍射光栅 [P].

八重樫健太 ;

江畠佳定 ;

青野宇纪 .

中国专利 :CN113167944A ,2021-07-23

[8]

制造可变效率衍射光栅的方法以及衍射光栅 [P].

J·拉霍迈基 ;

I·瓦蒂亚宁 .

中国专利 :CN111095042B ,2020-05-01

[9]

衍射光栅的制造 [P].

卢多维克·戈代 ;

韦恩·麦克米兰 ;

罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 .

中国专利 :CN118732110A ,2024-10-01

[10]

衍射光栅的制造 [P].

卢多维克·戈代 ;

韦恩·麦克米兰 ;

罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 .

中国专利 :CN112368639A ,2021-02-12

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