衍射光栅的制造

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410879867.2

申请日：

2019-06-27

公开(公告)号：

CN118732110A

公开(公告)日：

2024-10-01

发明(设计)人：

卢多维克·戈代韦恩·麦克米兰罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G02B5/18

IPC分类号：

G03F1/80 G02B27/09 G02B6/124 G02B6/136 G03F7/00

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;吴启超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/18申请日:20190627
2024-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

衍射光栅的制造 [P].

卢多维克·戈代 ;

韦恩·麦克米兰 ;

罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 .

中国专利 :CN112368639A ,2021-02-12

[2]

衍射光栅的制造 [P].

卢多维克·戈代 ;

韦恩·麦克米兰 ;

罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 .

美国专利 :CN112368639B ,2024-07-09

[3]

具有衍射光栅的光学器件 [P].

A.森纳里 ;

O-H.胡滕恩 ;

J.奧克康恩 .

中国专利 :CN104956148B ,2015-09-30

[4]

衍射光栅制造和包含衍射光栅的光信号装置 [P].

L·埃尔达达 ;

任承发 .

中国专利 :CN1291292A ,2001-04-11

[5]

衍射光栅的制造方法和复制衍射光栅的制造方法 [P].

八重㭴健太 ;

江畠佳定 ;

青野宇纪 .

日本专利 :CN117501156A ,2024-02-02

[6]

透射型衍射光栅及相关设备 [P].

朱海 ;

胡邦红 ;

翟玉山 ;

王华 ;

李刚 .

中国专利 :CN114077002A ,2022-02-22

[7]

衍射光栅的制造方法 [P].

土岐贵弘 ;

和田幸久 ;

德田敏 ;

林信和 ;

吉牟田利典 .

中国专利 :CN108470596A ,2018-08-31

[8]

透射型衍射光栅及相关设备 [P].

朱海 ;

胡邦红 ;

翟玉山 ;

王华 ;

李刚 .

中国专利 :CN114077002B ,2025-10-24

[9]

凹面衍射光栅的制造方法、制造装置以及凹面衍射光栅 [P].

八重樫健太 ;

江畠佳定 ;

青野宇纪 .

中国专利 :CN113167944A ,2021-07-23

[10]

制造衍射光栅的方法 [P].

J·奥尔科宁 ;

I·瓦蒂亚宁 ;

J·拉霍迈基 .

中国专利 :CN111065941A ,2020-04-24

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