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加热装置及化学气相沉积系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911075445.5
申请日：
2019-11-06
公开(公告)号：
CN110656319A
公开(公告)日：
2020-01-07
发明(设计)人：
吴俊德
赖彦霖
陈佶亨
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹科学园区苗栗县竹南镇科中路13号8楼
IPC主分类号：
C23C1646
IPC分类号：
C23C16458
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
罗英;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-07 | 公开 | 公开 |
| 2020-02-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/46 申请日:20191106 |