化学气相沉积系统

被引：0

申请号：

CN202220980853.6

申请日：

2022-04-26

公开(公告)号：

CN217895750U

公开(公告)日：

2022-11-25

发明(设计)人：

赵嘉峰陈飞项辉

申请人：

申请人地址：

201900 上海市宝山区顾村工业园区富联二路189号4幢

IPC主分类号：

C23C1646

IPC分类号：

代理机构：

上海国瓴律师事务所 31363

代理人：

傅耀

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-25	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积系统 [P].

胡丹 ;

朱刘 ;

余明 .

中国专利 :CN210104068U ,2020-02-21

[2]

化学气相沉积系统、化学气相沉积系统的装置和化学气相沉积方法 [P].

N·P·德斯科维奇 ;

W·D·格罗夫 .

中国专利 :CN105369211A ,2016-03-02

[3]

化学气相沉积装置及化学气相沉积系统 [P].

杨耀辉 ;

胡文华 ;

梅治民 ;

王维维 ;

俞方旭 ;

席洪峰 ;

罗治湘 .

中国专利 :CN118086872A ,2024-05-28

[4]

化学气相沉积系统 [P].

南琦 ;

刘瑞 ;

邓敏 .

中国专利 :CN209162187U ,2019-07-26

[5]

化学气相沉积系统 [P].

方建中 ;

杨成傑 ;

郑祥炬 .

中国专利 :CN103374709A ,2013-10-30

[6]

化学气相沉积系统 [P].

钟瑞伦 ;

吴俊鹏 .

中国专利 :CN211522317U ,2020-09-18

[7]

化学气相沉积系统 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN101760728B ,2010-06-30

[8]

化学气相沉积系统 [P].

卢柏菁 ;

黄冠宁 .

中国专利 :CN109306471A ,2019-02-05

[9]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN102851651A ,2013-01-02

[10]

一种化学气相沉积系统 [P].

郭国平 ;

杨晖 ;

李海欧 ;

曹刚 ;

肖明 ;

郭光灿 .

中国专利 :CN206607312U ,2017-11-03

← 1 2 3 4 5 →