化学气相沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810815730.5

申请日：

2018-07-20

公开(公告)号：

CN109306471A

公开(公告)日：

2019-02-05

发明(设计)人：

卢柏菁黄冠宁

申请人：

申请人地址：

中国台湾台北巿大安区敦化南路二段38号14楼

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-05	公开	公开
2021-01-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/458 申请公布日:20190205
2019-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20180720

共 50 条

[1]

化学气相沉积系统、化学气相沉积系统的装置和化学气相沉积方法 [P].

N·P·德斯科维奇 ;

W·D·格罗夫 .

中国专利 :CN105369211A ,2016-03-02

[2]

化学气相沉积装置及化学气相沉积系统 [P].

杨耀辉 ;

胡文华 ;

梅治民 ;

王维维 ;

俞方旭 ;

席洪峰 ;

罗治湘 .

中国专利 :CN118086872A ,2024-05-28

[3]

化学气相沉积系统 [P].

南琦 ;

刘瑞 ;

邓敏 .

中国专利 :CN209162187U ,2019-07-26

[4]

化学气相沉积系统 [P].

胡丹 ;

朱刘 ;

余明 .

中国专利 :CN210104068U ,2020-02-21

[5]

化学气相沉积系统 [P].

方建中 ;

杨成傑 ;

郑祥炬 .

中国专利 :CN103374709A ,2013-10-30

[6]

化学气相沉积系统 [P].

钟瑞伦 ;

吴俊鹏 .

中国专利 :CN211522317U ,2020-09-18

[7]

化学气相沉积系统 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN101760728B ,2010-06-30

[8]

化学气相沉积系统 [P].

赵嘉峰 ;

陈飞 ;

项辉 .

中国专利 :CN217895750U ,2022-11-25

[9]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN102851651A ,2013-01-02

[10]

连续进给化学气相沉积系统 [P].

E·门托维奇 ;

Y·罗特姆 ;

Y·格里蒂什 ;

D·纳韦 ;

C·斯特恩 ;

Y·本-纳伊姆 ;

A·伊斯马赫 ;

E·巴尔-拉比 ;

T·考夫曼 .

中国专利 :CN115369387A ,2022-11-22

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